1、当用压缩气体清洗时，须佩戴人身保护装备并使排出气体指定管路排出。使用化学清洗物时，须注意相关安全材料中的警告和指导。化学物质须与所用材料相适应，应注意化学物质可能会腐蚀泵内的零件。

2、将喷口及引管小心地取出，并拆开，用干净的棉纱或废纸将泵内部及各级喷口与引管上的油脂擦掉；用浓度为50～100克/升的苛性钠溶液，并加热到60～70℃，进行浸洗，或者直接用有机溶剂浸洗，然后用冷水多次冲洗，将零部件用热风吹干或在烘箱中烘干。

3、所有安装在管路上的过滤网和过滤器也须进行周期性的清洗或更换。

4、将硝酸或是其他的可溶性物质，但一定要稀释后的，不能用纯度高的，那样会直接损伤设备的内部组件，放置容器内等候一个小时左右，再用清水直接冲刷。

5、下一次的清洗周期须根据初次检查过程中罗茨真空泵排气腔内结垢情况或管路上过滤网过滤器的堵塞情况来确定。

6、罗茨真空泵每使用一定的时间就要清洗聚集在泵腔中的异物，例如可以短时间打开排泄管路上的阀门或短时间打开排空丝堵。

7、如果罗茨真空泵在工作中有过量的水垢集结，那么每隔一定时间就要冲洗一次，冲洗时间先用一种合适的溶剂冲洗，然后再用水冲洗。

8、从放油孔排出旧油及脏物，用漏斗从进气口注入新油，用手慢慢的旋转泵内几圈后，再把此油放出。用同样的方法重复一、二次，就可灌新油正式使用。

可以用除垢剂（浸泡半小时左右）。用酒精清洗，在用干净抹布擦干净，汽油不用。苯不用。

真空泵油被乳化是酯化产生的水引起的，二甲苯与真空泵油可混溶，不会有乳化现象。需要在反应釜的真空接口处安装冷凝器及冷凝液接收罐（同时也作缓冲罐）